真空鍍膜設備主要包括真空主體和輔助抽氣系統(tǒng)兩大部分。

1. 真空主體：即真空腔，其大小根據(jù)加工產(chǎn)品的需求而有所不同，常見的直徑有1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。這個腔體由不銹鋼制成，要求不生銹、堅實。真空腔的各個部分都設有連接閥，用于連接各抽氣泵浦。

2. 輔助抽氣系統(tǒng)：這是鍍膜機真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機械泵、增壓泵（如羅茨泵）和油擴散泵組成。這個排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”的組合。排氣流程如下：首先，機械泵將真空腔抽至小于2.0*10-2PA的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提。然后，當擴散泵開始抽真空腔時，機械泵會配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這種方式完成抽氣動作。

以上是真空鍍膜設備的主要系統(tǒng)和部件的拆解。在實際操作過程中，建議參考設備的使用手冊和制造商的說明，以確保安全和設備的正常運行。同時，對于任何涉及設備的拆解或維修工作，都應由專業(yè)人員進行。