關(guān)于濺射靶材和蒸發(fā)材料的正確程序處理，這里僅需提及幾件事。大多數(shù)沉積材料相當(dāng)堅固，但根據(jù)特定的組成或化學(xué)計量，某些材料可能會非常脆弱，某些材料可能會很脆，而某些材料可能會非常有毒。首先，強烈建議所有與處理任何特定材料有關(guān)的人員首先閱讀，然后按照與任何給定成分相關(guān)的“材料安全數(shù)據(jù)表”或“表”中列出的安全程序進行操作。

將大多數(shù)產(chǎn)品包裝在真空密封的聚丙烯包裝盒中。這防止了水分和/或空氣可能污染產(chǎn)品或與產(chǎn)品發(fā)生反應(yīng)。從該保護性外層打開產(chǎn)品后，應(yīng)使用某種形式的防護手套（乳膠，棉布，無絨等）來處理該材料，以防止該材料與手部的水分反應(yīng)并保護操作人員身體上的傷害或反應(yīng)。如果使用的材料有毒，如有必要，戴上呼吸面罩或面罩。

如果材料是與空氣（氧氣，氮氣，氫氣，水蒸氣等）接觸時容易分解或分解的東西，請確保從到達目標(biāo)到準(zhǔn)備就緒為止，將目標(biāo)存儲在真空干燥器或受控的環(huán)境中。裝入室內(nèi)使用。當(dāng)與環(huán)境發(fā)生反應(yīng)時，由于膨脹/收縮作用，許多陶瓷或粉末冶金產(chǎn)品材料會簡單地粉碎成離解的粉末或裂紋。

在沉積過程中使用后，出于操作安全的考慮，也應(yīng)格外小心地處理這種高反應(yīng)性產(chǎn)品，并防止對靶材本身造成任何可能的損壞。根據(jù)所用材料的具體成分，建議在沉積過程后用惰性氣體回填腔室，該惰性氣體將保護靶材的表面并在沉積腔室的各個表面上提供保護層。其他相關(guān)的反應(yīng)性表面。同樣，在通過防護服（手套，口罩，呼吸系統(tǒng)等）打開腔室后，應(yīng)小心保護操作人員和目標(biāo)材料，并立即將用過的目標(biāo)物放回非反應(yīng)性環(huán)境中，直到再次需要供將來使用。